|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000439506 |
| 005 |
20100412145932.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20100112d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 01.04.01
$f Ветошкин Владимир Михайлович
$g [Удмуртский государственный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Ижевск
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—22 (15 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13234
$a КВАРЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38722
$a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82800
$a ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29
$2 rugasnti
$v 6
|
| 700 |
# |
1 |
$a Ветошкин
$b В. М.
$g Владимир Михайлович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20100112
$g psbo
|
