|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000436537 |
| 005 |
20211229103857.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20091229d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Особенности измерений линейных размеров субмикронных структур методом растровой электронной микроскопии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.04
$f Заблоцкий Алексей Васильевич
$g Федеральное агентство по образованию Российской Федерации Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"
|
| 210 |
# |
# |
$a Долгопрудный
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24—25
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27533
$a РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39126
$a ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2748278
$a ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35913
$a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14264
$a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.43
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.03.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Заблоцкий
$b А. В.
$g Алексей Васильевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20091229
$g psbo
|
