Исследование плазмы в СВЧ-реакторах и характеристик получаемых в них алмазных пленок оптическими методами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.08 / Радищев Дмитрий Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//74839(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Радищев, Д. Б.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2009
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ
АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000436202
005 20100114160600.0
100 # # $a 20091226d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование плазмы в СВЧ-реакторах и характеристик получаемых в них алмазных пленок оптическими методами  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.08  $f Радищев Дмитрий Борисович  $g [Институт прикладной физики Российской академии наук] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2009 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 16—18 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35847  $a ФИЗИКА ПЛАЗМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6836  $a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3133807  $a СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar64787  $a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83769  $a ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.27.43  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.51  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.27.49  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 31.15.30  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.08  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Радищев  $b Д. Б.  $g Дмитрий Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20091226  $g psbo 

Схожие документы