Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография — процессы и оборудование: [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Киреев, В. Ю. (1949— ) |
| Опубликовано: | Долгопрудный : Интеллект , 2016 |
| Физические характеристики: |
319 с., [4] л. цв. ил. : ил., табл. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||