Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография — процессы и оборудование: [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев

Сохранено в:
Шифр документа: 1//667492(039),
Вид документа: Книги
Автор: Киреев, В. Ю. (1949— )
Опубликовано: Долгопрудный : Интеллект , 2016
Физические характеристики: 319 с., [4] л. цв. ил. : ил., табл. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
1//667492(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 15:3:2:40 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал