Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография — процессы и оборудование: [учебно-справочное руководство] / В. Ю. Киреев
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Киреев, В. Ю. (1949— ) |
Опубликовано: | Долгопрудный : Интеллект , 2016 |
Физические характеристики: |
319 с., [4] л. цв. ил. : ил., табл. ; 22 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|