|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000426768 |
| 005 |
20220412151736.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-5-91559-215-4
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20091202d2016 f y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a jg 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
$a ha
|
| 200 |
1 |
# |
$a Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография — процессы и оборудование
$e [учебно-справочное руководство]
$f В. Ю. Киреев
|
| 210 |
# |
# |
$a Долгопрудный
$c Интеллект
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 319 с., [4] л. цв. ил.
$c ил., табл.
$d 22 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 314―319 (111 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2723378
$a НАНОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2298163
$a УЧЕБНО-СПРАВОЧНОЕ ПОСОБИЕ
$2 BYGNR
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:620.3(035)(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2517398
$a Киреев
$b В. Ю.
$g Валерий Юрьевич
$f 1949—
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20091202
$g psbo
|
