Современные методы и технологии создания и обработки материалов : IV Международная научно-техническая конференция, (Минск, 19―21 октября 2009 г.) : сборник материалов : в 3 кн. / [редколлегия: С. А. Астапчик (главный редактор) и др.]. Кн. 1 : Многофункциональные материалы в современной технике и методы их получения. Материалы для микро- и наноэлектроники