|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000391846 |
| 005 |
20101101105138.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-5-94774-904-5
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20090903d2009 f y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Металлизация ультрабольших интегральных схем
$e учебное пособие для высших учебных заведений по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$f Д. Г. Громов [и др.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c БИНОМ. Лаборатория знаний
$d 2009
|
| 215 |
# |
# |
$a 277 с.
$c ил., табл.
$d 22 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 265―277 (176 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1000 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2120089
$a УЛЬТРАБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2685016
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30000
$a СИЛИЦИДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14492
$a КОНТАКТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2143210
$a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ КОНТАКТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17958
$a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.16-027.3:621.793(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.01.33
$2 rugasnti
$v 6
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar413122
$a Громов
$b Д. Г.
$g Дмитрий Геннадьевич
$c доктор технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20090903
$g psbo
|
