Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Воронов Павел Евгеньевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//65246(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Воронов, П. Е.
Опубликовано: Ставрополь , 2009
Физические характеристики: 21 с. : табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000371713
005 20090818145429.0
100 # # $a 20090629d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Воронов Павел Евгеньевич  $g [ГОУ ВПО "Северо-Кавказский государственный технический университет"] 
210 # # $a Ставрополь  $d 2009 
215 # # $a 21 с.  $c табл. 
320 # # $a Библиография: с. 20—21 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2862840  $a НАНОПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21599  $a ОКСИДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2670246  $a ДИОКСИД ОЛОВА   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2643528  $a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21821  $a ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Воронов  $b П. Е.  $g Павел Евгеньевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20090629  $g psbo