Эллипсометрия шероховатых поврехностей: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Свиташева Светлана Николаевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//56173(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Свиташева, С. Н.
Опубликовано: Новосибирск , 2009
Физические характеристики: 29 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000301709
005 20090319090409.0
100 # # $a 20090310d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Эллипсометрия шероховатых поврехностей  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.07  $f Свиташева Светлана Николаевна  $g [Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской Академии наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2009 
215 # # $a 29 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 27—29 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38082  $a ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60422  $a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Свиташева  $b С. Н.  $g Светлана Николаевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20090310  $g psbo