Разработка системы управления процессом нанесения покрытий в электронно-лучевой установке: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.09.10 / Ивашин Андрей Дмитриевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//54875(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ивашин, А. Д.
Опубликовано: Москва , 2009
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000288319
005 20140725110432.0
100 # # $a 20090213d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка системы управления процессом нанесения покрытий в электронно-лучевой установке  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.09.10  $f Ивашин Андрей Дмитриевич  $g [Московский энергетический институт] 
210 # # $a Москва  $d 2009 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39164  $a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4861  $a ВАКУУМНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12308  $a ИСПАРЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14322  $a КОНДЕНСАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34137  $a ТОЛЩИНА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27743  $a РЕГУЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1555  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.09.10  $2 oksvnk 
686 # # $a 81.29.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.20.15  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 55.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.43.17  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $a Ивашин  $b А. Д.  $g Андрей Дмитриевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20090213  $g psbo