Рентгенодифрактометрические исследования структуры монокристаллов кремния, легированных бором: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.04 / Шилов Сергей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//42562(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шилов, С. В.
Опубликовано: Архангельск , 2008
Физические характеристики: 15 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛЫ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
БОР (хим.)
ДИФРАКТОМЕТРИЯ
РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000220244
005 20081008110910.0
100 # # $a 20080926d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Рентгенодифрактометрические исследования структуры монокристаллов кремния, легированных бором  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.04  $f Шилов Сергей Владимирович  $g [ГОУ ВПО "Сыктывкарский государственный университет"] 
210 # # $a Архангельск  $d 2008 
215 # # $a 15 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15 (7 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4405  $a БОР (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2515149  $a ДИФРАКТОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2138471  $a РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.03.05  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Шилов  $b С. В.  $g Сергей Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080926  $g psbo 

Схожие документы