Влияние толщины и легирования азотом углеродных покрытий на электропроводность и механические свойства системы "кремний - покрытие": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Суджанская Ирина Васильевна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//40346(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Суджанская, И. В.
Опубликовано: Белгород , 2008
Физические характеристики: 18, [1] с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000207144
005 20080818115109.0
100 # # $a 20080813d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Влияние толщины и легирования азотом углеродных покрытий на электропроводность и механические свойства системы "кремний - покрытие"  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.07  $f Суджанская Ирина Васильевна  $g [Белгородский государственный университет] 
210 # # $a Белгород  $d 2008 
215 # # $a 18, [1] с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18-19 (12 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83953  $a КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34165  $a ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2291006  $a УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1931  $a АЗОТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39194  $a ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18162  $a МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.23  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Суджанская  $b И. В.  $g Ирина Васильевна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080813  $g psbo