Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Мьо Хейн Зо
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мью Хейн Зо |
Опубликовано: | Москва , 2008 |
Физические характеристики: |
27 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|