Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Мьо Хейн Зо

Сохранено в:
Шифр документа: 2//40286(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мью Хейн Зо
Опубликовано: Москва , 2008
Физические характеристики: 27 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000205504
005 20080812112427.0
100 # # $a 20080805d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Мьо Хейн Зо  $g [Московский государственный институт электронной техники (Технический университет)] 
210 # # $a Москва  $d 2008 
215 # # $a 27 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 26-27 (12 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37401  $a ЦЕНТРОБЕЖНЫЕ СИЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23808  $a ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24359  $a ПОЛИМЕРНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 55.22  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 0 $a Мью Хейн Зо 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080805  $g psbo