Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06 / Шаповалов Виктор Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//39949(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Шаповалов, В. И. (род. 1944)
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2008
Физические характеристики: 32 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000198793
005 20080808093139.0
100 # # $a 20080710d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e 05.27.06  $f Шаповалов Виктор Иванович  $g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2008 
215 # # $a 32 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 31-32 (21 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23812  $a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23292  $a ПЕРЕХОДНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2448302  $a ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.33  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.03.11  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2872369  $a Шаповалов  $b В. И.  $g Виктор Иванович  $c доктор технических наук, электронная техника  $f род. 1944 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080710  $g psbo