Технологические методики повышения стабильности параметров тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.14 / Волохов Игорь Валерианович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//38898(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Волохов, И. В.
Опубликовано: Пенза , 2008
Физические характеристики: 20 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000192825
005 20210810172203.0
100 # # $a 20080618d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Технологические методики повышения стабильности параметров тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.11.14  $f Волохов Игорь Валерианович  $g [ГОУ ВПО "Пензенский государственный университет"] 
210 # # $a Пенза  $d 2008 
215 # # $a 20 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19-20 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33306  $a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24616  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.11.14  $2 oksvnk 
686 # # $a 50.09.37  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 5  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Волохов  $b И. В.  $g Игорь Валерианович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080618  $g psbo