Центры люминесценции, образующиеся в структурах Si-SiO2 в результате ионной имплантации и последующего отжига: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Петров Юрий Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//38595(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Петров, Ю. В.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2008
Физические характеристики: 15 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000191056
005 20180131152754.0
100 # # $a 20080613d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Центры люминесценции, образующиеся в структурах Si-SiO2 в результате ионной имплантации и последующего отжига  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.07  $f Петров Юрий Владимирович  $g Санкт-Петербургский государственный университет 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2008 
215 # # $a 15 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 14-15 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13163043  $a ЦЕНТРЫ ЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.31.23  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Петров  $b Ю. В.  $g Юрий Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080613  $g psbo