Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Ушков Александр Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//36866(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ушков, А. В.
Опубликовано: Москва , 2008
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000183702
005 20080613135205.0
100 # # $a 20080526d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Ушков Александр Викторович  $g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Всероссийский научно-исследовательский институт им. Н. Л. Духова] 
210 # # $a Москва  $d 2008 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15-16 (10 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24606  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33314  $a ТЕНЗОРЫ (мат., физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25811  $a ПРОЕКТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.09  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.14.07  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Ушков  $b А. В.  $g Александр Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080526  $g psbo