|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000183702 |
005 |
20080613135205.0 |
100 |
# |
# |
$a 20080526d2008 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Ушков Александр Викторович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Всероссийский научно-исследовательский институт им. Н. Л. Духова]
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2008
|
215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15-16 (10 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24606
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33314
$a ТЕНЗОРЫ (мат., физ.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2290523
$a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar25811
$a ПРОЕКТИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.09
$2 oksvnk
|
686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$2 rugasnti
$v 5
|
686 |
# |
# |
$a 50.09.37
$2 rugasnti
$v 5
|
700 |
# |
1 |
$a Ушков
$b А. В.
$g Александр Викторович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080526
$g psbo
|