Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Данилкин Евгений Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилкин, Е. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2008 |
| Физические характеристики: |
26 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||