|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000178152 |
| 005 |
20081219140249.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20080512d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Данилкин Евгений Викторович
$g [Московский государственный институт электронной техники и Межуниверситетский Центр Микроэлектроники]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2008
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25-26 (10 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2451365
$a ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11387
$a ИЗОЛЯЦИЯ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилкин
$b Е. В.
$g Евгений Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080512
$g psbo
|
