Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Смагина Жанна Викторовна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//32931(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Смагина, Ж. В.
Опубликовано: Новосибирск , 2008
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000155055
005 20080401143107.0
100 # # $a 20080311d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Смагина Жанна Викторовна  $g [Институт физики полупроводников СО РАН] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2008 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20-22 (27 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar71987  $a НАНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2714551  $a ИОННО-МОЛЕКУЛЯРНЫЕ РЕАКЦИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12180  $a ИОННЫЕ ПУЧКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Смагина  $b Ж. В.  $g Жанна Викторовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080311  $g psbo