Автоматический контроль топологии планарных структур: монография / С. М. Аваков

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//75623(039), 1Н//75625(039),
Вид документа: Книги
Автор: Аваков, С. М. (род. 1955)
Опубликовано: Минск : ФУАинформ , 2007
Физические характеристики: 167 с. : ил., табл. ; 23 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0000139761
005 20220412155646.0
010 # # $a 978-985-6721-90-1 
100 # # $a 20080129d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Автоматический контроль топологии планарных структур  $e монография  $f С. М. Аваков 
210 # # $a Минск  $c ФУАинформ  $d 2007 
215 # # $a 167 с.  $c ил., табл.  $d 23 см 
320 # # $a Библиография: с. 155―159 (70 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23677  $a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34220  $a ТОПОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3349736  $a ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1585  $a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14/.16-027.3:658.562  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.81  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.43  $v 5  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-369599  $a Аваков  $b С. М.  $g Сергей Мирзоевич  $c доктор технических наук, электроника  $f род. 1955 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080129  $g psbo