|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
001 |
BY-NLB-br0000139761 |
005 |
20220412155646.0 |
010 |
# |
# |
$a 978-985-6721-90-1
|
100 |
# |
# |
$a 20080129d2007 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Автоматический контроль топологии планарных структур
$e монография
$f С. М. Аваков
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$c ФУАинформ
$d 2007
|
215 |
# |
# |
$a 167 с.
$c ил., табл.
$d 23 см
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 155―159 (70 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23677
$a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34220
$a ТОПОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85262
$a ФОТОШАБЛОНЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3349736
$a ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ ДЕФЕКТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1585
$a АВТОМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14/.16-027.3:658.562
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 50.43
$v 5
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-369599
$a Аваков
$b С. М.
$g Сергей Мирзоевич
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1955
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080129
$g psbo
|