Активный контроль технологических параметров плазмохимического вакуумного синтеза нанообъектов с использованием тест-образцов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.13.06 / Образцов Денис Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//29068(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Образцов, Д. В.
Опубликовано: Тамбов , 2007
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000122619
005 20110919165654.0
100 # # $a 20071207d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Активный контроль технологических параметров плазмохимического вакуумного синтеза нанообъектов с использованием тест-образцов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.13.06  $f Образцов Денис Владимирович  $g [Тамбовский государственный технический университет] 
210 # # $a Тамбов  $d 2007 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15-16 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2289608  $a НАНОМАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4867  $a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4408521  $a НАНООБЪЕКТЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.13.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Образцов  $b Д. В.  $g Денис Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071207  $g psbo