Разработка технологии послеростовой обработки приборов на основе широкозонных полупроводниковых материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.11.14 / Черных Сергей Петрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//27912(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Черных, С. П.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 17 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000117824
005 20080104155703.0
100 # # $a 20071127d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка технологии послеростовой обработки приборов на основе широкозонных полупроводниковых материалов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.11.14  $f Черных Сергей Петрович  $g [Московский государственный университет приборостроения и информатики] 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 17 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15-17 (20 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 05.11.14  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Черных  $b С. П.  $g Сергей Петрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071127  $g psbo