Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Куликов Дмитрий Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//23575(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Куликов, Д. Ю.
Опубликовано: Воронеж , 2007
Физические характеристики: 16 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000098314
005 20071127161819.0
100 # # $a 20071015d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Куликов Дмитрий Юрьевич  $g [Воронежский государственный технический университет] 
210 # # $a Воронеж  $d 2007 
215 # # $a 16 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 15-16 (10 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6762  $a ГАЗОВЫЕ СРЕДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29806  $a ХИМИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18378  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29863  $a СЕРИЙНОЕ ПРОИЗВОДСТВО  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Куликов  $b Д. Ю.  $g Дмитрий Юрьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071015  $g psbo