Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Огер Виктор Павлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Огер, В. П. |
| Опубликовано: | Минск , 2007 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||