Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Огер Виктор Павлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//18788(039), 2Н//18789(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Огер, В. П.
Опубликовано: Минск , 2007
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000077173
005 20130430184106.2
100 # # $a 20070809d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d eng  $d rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование координатной сетки дискретности высокого разрешения для повышения точности систем перемещений оборудования микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Огер Виктор Павлович  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2007 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
300 # # $a Резюме на белорусском, русском, английском языках. 
311 # # $a В фонде имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17-19 (21 назв.) 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0000129110 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18374  $a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29174  $a СБОРОЧНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14626  $a КООРДИНАТ СИСТЕМА (мат.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34338  $a ТОЧНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.771.14(043.3)(476)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2696005  $a Огер  $b В. П.  $g Виктор Павлович  $c кандидат технических наук, электроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070809  $g psbo 
830 # # $a 20.09.2007