Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: 02.00.01 / Корнев Роман Алексеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//18247(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Корнев, Р. А.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2007
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000073929
005 20070809143713.0
100 # # $a 20070725d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование метода синтеза трихлорсилана по реакции гидрирования тетрахлорида кремния в водородной плазме  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук  $e 02.00.01  $f Корнев Роман Алексеевич  $g [Институт химии высокочистых веществ РАН] 
210 # # $a Нижний Новгород  $d 2007 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20-22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20400  $a НЕОРГАНИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2687615  $a ХЛОРИДЫ КРЕМНИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7480  $a ГИДРОГЕНИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23671  $a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2687621  $a ТРИХЛОРСИЛАН  $2 DVNLB 
686 # # $a 31.17.15  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 31.15.30  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 02.00.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Корнев  $b Р. А.  $g Роман Алексеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070725  $g psbo