Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 01.04.01 / Кирьянов Анатолий Павлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//14040(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кирьянов, А. П.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 31 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000055876
005 20070618163900.0
100 # # $a 20070524d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук  $e 01.04.01  $f Кирьянов Анатолий Павлович  $g Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 31 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 30-31 (32 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30588  $a СЛОИСТЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60422  $a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar88186  $a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21841  $a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.03.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 59.41  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 59.45.37  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 01.04.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2661059  $a Кирьянов  $b А. П.  $g Анатолий Павлович  $c доктор физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070524  $g psbo