|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0000055876 |
005 |
20070618163900.0 |
100 |
# |
# |
$a 20070524d2007 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e 01.04.01
$f Кирьянов Анатолий Павлович
$g Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2007
|
215 |
# |
# |
$a 31 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30-31 (32 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30588
$a СЛОИСТЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60422
$a ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar88186
$a ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21841
$a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.03.31
$2 rugasnti
$v 5
|
686 |
# |
# |
$a 59.41
$2 rugasnti
$v 5
|
686 |
# |
# |
$a 59.45.37
$2 rugasnti
$v 5
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.01
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2661059
$a Кирьянов
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор физико-математических наук
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070524
$g psbo
|