Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразований: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Ильков Андрей Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//14025(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ильков, А. В.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 29 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000055851
005 20170821083556.0
100 # # $a 20070524d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразований  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Ильков Андрей Владимирович  $g [Московский государственный институт электронной техники] 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 29 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 28-29 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38912  $a ЭЛЕКТРОАКУСТИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39018  $a ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18356  $a МИКРОФОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12820034  $a ДИАФРАГМЫ (техн.)  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.55.29  $v 5  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Ильков  $b А. В.  $g Андрей Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070524  $g psbo