|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0000055819 |
| 005 |
20070613153431.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070524d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка автоматизированного элионного технологического оборудования для производства изделий микрофотоэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Козлов Александр Николаевич
$g [Государственный научный центр Федерального государственного унитарного предприятия НПО "Ореон"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2007
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21-22 (17 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar69630
$a ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39148
$a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Козлов
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070524
$g psbo
|
