Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06: защищена 07.12.06: утверждена 14.02.07 / Дайняк Игорь Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дайняк, И. В. |
| Опубликовано: | Минск , 2006 |
| Физические характеристики: |
174, [1] л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||