Моделирование процессов механической обработки пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов свободным абразивом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Бритвин Альберт Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//11762(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бритвин, А. А.
Опубликовано: Москва , 2007
Физические характеристики: 27 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000043916
005 20070613085335.0
100 # # $a 20070419d2007 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Моделирование процессов механической обработки пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов свободным абразивом  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Бритвин Альберт Александрович  $g [Московский государственный институт электронной техники (Технический университет)] 
210 # # $a Москва  $d 2007 
215 # # $a 27 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 25-27 (16 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18658  $a МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18168  $a МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23734  $a ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9579  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1377  $a АБРАЗИВНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.03.05  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $a Бритвин  $b А. А.  $g Альберт Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070419  $g psbo