Неравновесные фазовые переходы, индуцированные ионной бомбардировкой, на примере силикатных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Цырулев Андрей Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//7268(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Цырулев, А. А.
Опубликовано: Ярославль , 2006
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000026732
005 20070615153237.7
100 # # $a 20070305d2006 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Неравновесные фазовые переходы, индуцированные ионной бомбардировкой, на примере силикатных систем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 05.27.01  $f Цырулев Андрей Анатольевич  $g [Институт микроэлектроники и информатики Российской академии наук (г. Ярославль)] 
210 # # $a Ярославль  $d 2006 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 18-19 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29996  $a СИЛИКАТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35611  $a ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9575  $a ДИЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $3 BY-SEK-143464  $a Цырулев  $b А. А.  $g Андрей Анатольевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070305  $g psbo