Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Мустафаев Абдулла Гасанович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Мустафаев, А. Г. |
| 出版: | Владикавказ , 2006 |
| 實物描述: |
17 с. : ил.
|
| 語言: | 俄文 |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||