Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Мустафаев Абдулла Гасанович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//4047(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мустафаев, А. Г.
Опубликовано: Владикавказ , 2006
Физические характеристики: 17 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000015667
005 20070615153110.7
100 # # $a 20070206d2006 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Мустафаев Абдулла Гасанович  $g [Кабардино-Балкарский государственный университет] 
210 # # $a Владикавказ  $d 2006 
215 # # $a 17 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 16-17 (11 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9575  $a ДИЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti  $v 5 
700 # 1 $3 BY-SEK-138216  $a Мустафаев  $b А. Г.  $g Абдулла Гасанович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070206  $g psbo