Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Н//262870(039),
格式: Авторефераты диссертаций
出版: Минск , 2025
實物描述: 23 с. ; 21 см
語言: Русский