Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| Wydane: | Минск , 2025 |
| Opis fizyczny: |
23 с. ; 21 см
|
| Język: | Русский |