Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Publicado: | Минск , 2025 |
| Descripción Física: |
23 с. ; 21 см
|
| Lenguaje: | Русский |