Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Published: | Минск , 2025 |
| Physical Description: |
23 с. ; 21 см
|
| Language: | Russian |