Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Апублікавана: | Минск , 2025 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |