Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Лобанок Михаил Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск , 2025 |
| Физические характеристики: |
23 с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000003ia4500 | |||
| 001 | BY-CNB-br5762067 | ||
| 005 | 20250217130016.7 | ||
| 100 | # | # | $a 20250217d2025 k y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 105 | # | # | $a a ||||000yy |
| 200 | 1 | # | $a Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук $f Лобанок Михаил Владимирович |
| 210 | # | # | $a Минск $d 2025 |
| 215 | # | # | $a 23 с. $d 21 см |
| 345 | # | # | $9 60 экз. |
| 675 | # | # | $a 6 $v 4 $z rus |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 nsnrrb |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0005 $c 20250217 $g RCR |