|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
001 |
BY-CNB-br5429834 |
005 |
20220623091032.0 |
010 |
# |
# |
$a 978-5-02-040201-0
$b в переплете
|
100 |
# |
# |
$a 20210527d2019 k y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a ach z 000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Нанотехнологии в микроэлектронике
$d Nanotechnology in Microelectronics
$f [С. П. Авдеев и др.]
$g под редакцией О. А. Агеева, Б. Г. Коноплева
$g [Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"]
$z eng
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$c Наука
$d 2019
|
215 |
# |
# |
$a 511 с., [12] л. цв. ил.
$c ил., табл., портр., факсим.
$d 25 см
|
320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
510 |
1 |
# |
$a Nanotechnology in Microelectronics
$z eng
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2023
$a АКСЕЛЕРОМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2661400
$a ГИРОСКОПЫ
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar39112
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2375793
$a УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2289608
$a НАНОМАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:620.3
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 81.13.30
$v 6
$2 rugasnti
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-ar2504755
$a Авдеев
$b С. П.
$g Сергей Петрович
$c кандидат технических наук
$f род. 1962
|
702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-662326
$a Агеев
$b О. А.
$g Олег Алексеевич
$c доктор технических наук
$f род. 1966
$4 340
|
702 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar369034
$a Коноплев
$b Б. Г.
$g Борис Георгиевич
$c доктор технических наук
$f род. 1951
$4 340
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar14071534
$a Южный федеральный университет
$c Ростов-на-Дону / Таганрог
$b Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения
$c Таганрог
$4 475
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar14071978
$a Южный федеральный университет
$c Ростов-на-Дону / Таганрог
$b Научно-образовательный центр "Нанотехнологии"
$c Таганрог
$4 475
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0005
$c 20210527
$g RCR
|