|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-CNB-br4658163 |
| 005 |
20181205103431.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-08-2298-7
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20180709d2018 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 010yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологии субмикронных структур микроэлектроники
$f [А. П. Достанко и др.]
$g под редакцией А. П. Достанко
$g Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Беларуская навука
$d 2018
|
| 215 |
# |
# |
$a 269, [1] с.
$c ил., цв. ил., табл.
$d 25 см
|
| 300 |
# |
# |
$a На переплете: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 96 экз.
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar77899
$a МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar1611433
$a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar1657703
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar39302
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar15677
$a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2495390
$a Достанко
$b А. П.
$g Анатолий Павлович
$c доктор технических наук
$f 1937—2024
$4 070
$4 340
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-ar1681789
$a Мельников
$b С. Н.
$g Сергей Николаевич
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar7103445
$a Петлицкий
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1998334
$a Петухов
$b И. Б.
$g Игорь Борисович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1881914
$a Солодуха
$b В. А.
$g Виталий Александрович
$c доктор технических наук, электроника
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-375809
$a Телеш
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2634921
$a Бордусов
$b С. В.
$g Сергей Валентинович
$c доктор технических наук
$f род. 1955
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637559
$a Голосов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1971
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637692
$a Завадский
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar5323796
$a Колос
$b В. В.
$g Владимир Владимирович
$c кандидат физико-математических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar6091925
$a Купо
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
$c кандидат технических наук
$c физик
$f род. 1979
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637712
$a Ланин
$b В. Л.
$g Владимир Леонидович
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1948
|
| 701 |
# |
1 |
$3 by-PLRB-ar13391820
$a Лушакова
$b М. С.
$g Мария Сергеевна
$c электронная техника
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-br4883719
$a Мадвейко
$b С. И.
$g Сергей Игоревич
$c кандидат технических наук
$f род. 1984
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar189198
$a Национальная академия наук Беларуси
$c Минск
$4 475
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0005
$c 20180709
$g RCR
|
