Электромеханические микроустройства / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//355932(039), 1Н//355933(039),
Вид документа: Книги
Автор: Мухуров, Н. И. (род. 1954)
Опубликовано: Минск : Беларуская навука , 2012
Физические характеристики: 256, [1] с. : ил., табл.. ; 24 см
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
САМООРГАНИЗУЮЩИЕСЯ СИСТЕМЫ
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
МИКРОАКТЮАТОРЫ
МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
ОКСИД АЛЮМИНИЯ
МИКРООБРАБОТКА
LIGA (технология)
КОНСТРУКТИВНЫЕ СХЕМЫ
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
ВЫХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
ВХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ
РАСЧЕТА МЕТОДЫ
МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-CNB-br1454510
005 20170927120519.5
010 # # $a 978-985-08-1419-7 
100 # # $a 20120626d2012 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a z 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Электромеханические микроустройства  $f Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов  $g Национальная академия наук Беларуси, Институт физики им. Б. И. Степанова 
210 # # $a Минск  $c Беларуская навука  $d 2012 
215 # # $a 256, [1] с.  $c ил., табл..  $d 24 см 
320 # # $a Библиография: с. 248—254 (162 назв.) 
345 # # $9 120 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18296  $a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28978  $a САМООРГАНИЗУЮЩИЕСЯ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2038052  $a ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5036566  $a МИКРОАКТЮАТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18306  $a МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar78052  $a ОКСИД АЛЮМИНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5036061  $a МИКРООБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4242721  $a LIGA (технология)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14458  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38860  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6624  $a ВЫХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6448  $a ВХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18180  $a МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1614660  $a ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113377  $a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.31-181.48-047.84  $v 4  $z rus 
675 # # $a 681.586.72-181.48  $v 4  $z rus 
686 # # $a 45.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.09.39  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.31.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.14.19  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-320837  $a Мухуров  $b Н. И.  $g Николай Иванович  $c доктор технических наук  $f род. 1954 
701 # 1 $3 BY-RLST-ar197360  $a Ефремов  $b Г. И.  $g Геннадий Игнатьевич 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar189198  $a Национальная академия наук Беларуси  $c Минск  $4 475 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2380680  $a Институт физики имени Б. И. Степанова  $c Минск  $4 475 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0005  $c 20120627  $g psbo 
801 # 2 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170927  $g psbo 

Схожие документы