Физические основы ионно-лучевого легирования: Материалы науч.-конф. Июнь, 1971 г., Горький / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т «ГИФТИ»

Сохранено в:
Другие авторы/ответственные: Павлов, П. В., Горьк. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Вид документа: Книги
Опубликовано: Горький , 1972-
Язык: Русский
Предмет:
00000nam1a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr27866280000
005 20071221124630.0
021 # # $a RU  $b [73-14524; 15143] 
100 # # $a 20071221f1972 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физические основы ионно-лучевого легирования  $e Материалы науч.-конф. Июнь, 1971 г., Горький  $f М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т «ГИФТИ»  $g [Редколлегия: П. В. Павлов (ред.) и др.] 
210 # # $a Горький  $d 1972- 
215 # # $d 25 см 
300 # # $a Списки лит. в конце докл. 
345 # # $9 600 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Легирование ионное - Сборники 
675 # # $a 621.315.592.002(063) 
702 # 1 $a Павлов  $b П. В.  $4 340 
711 0 2 $a Горьк. ун-т им. Н. И. Лобачевского 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071221  $g psbo