
Учебное пособие по курсу «Основы спецтехнологии диэлектриков и полупроводников» / В. А. Антонов, Л. А. Арсеньев, Х. С. Багдасаров, А. И. Попов
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | М. : МЭИ , 1979- |
Язык: | Русский |
00000cam1a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr27782570000 | ||
005 | 20150130151815.0 | ||
100 | # | # | $a 20071221f19791979 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Учебное пособие по курсу «Основы спецтехнологии диэлектриков и полупроводников» $f В. А. Антонов, Л. А. Арсеньев, Х. С. Багдасаров, А. И. Попов $g Ред. В. С. Крикоров |
210 | # | # | $a М. $c МЭИ $d 1979- |
215 | # | # | $d 20 см |
300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. энерг. ин-т |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071221 $g psbo |