Лабораторный практикум по технологии и оборудованию полупроводникового производства / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Моск. ин-т электронного машиностроения...
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1972 |
| Язык: | Русский |
| 00000nam1a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr22469020000 | ||
| 005 | 20071112154704.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20071112d1972 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Лабораторный практикум по технологии и оборудованию полупроводникового производства $f М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Моск. ин-т электронного машиностроения... $g Под ред. Зворыкина Д. Б. |
| 210 | # | # | $a М. $d 1972 |
| 300 | # | # | $a Перед загл. авт.: Козловская В. М., Колобова Н. Ю., Колооанов В. И. и др. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20071112 $g psbo |