|
|
|
|
|
00000nam1a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr13084960000 |
005 |
20070227161858.0 |
100 |
# |
# |
$a 20070227d1978 y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Технология полупроводниковых материалов
$e Разд. «Физ.-хим. основы технологии полупроводниковых материалов». Учеб. пособие для студентов спец. 0643, 0629, 0604
$f Под ред. В. В. Крапухина
|
210 |
# |
# |
$a М.
$c МИСИС
$d 1978
|
215 |
# |
# |
$d 21 см
|
300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
|
700 |
# |
1 |
$a Крапухин
$b В. В.
$g Всеволод Валерьевич
|
701 |
# |
1 |
$a Соколов
$b И. А.
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070227
$g psbo
|