Процессы и аппараты для получения полупроводниковых материалов: Курс лекций. [В 4-х ч.] / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
Сохранено в:
Показ/скрытие дополнительной информации.
| Автор: | Крапухин, В. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Соколов, И. А., Кожитов, Л. В. |
| Вид документа: | |
| Опубликовано: | М. : [МИС и С] , 1974 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: |